全球最大光刻机供应商荷兰阿斯麦（ASML）周三（9日）指中国企业东方晶源微电子科技可能侵权，东方晶源昨天在官网发声明回应，近期网络相关报道“与事实不符”，并称公司尊重、保护知识产权，并形成了独立、完备的知识产权体系。

声明说，东方晶源是一家专注于集成电路领域良率管理的企业，已成功的自主研发出计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，获得了行业和客户的高度认可。

声明强调，公司自成立以来一直遵守中国法律法规、合法合规经营。秉承独立研发、自主创新的理念，东方晶源尊重、保护知识产权，并形成了独立、完备的知识产权体系。对于相关不实信息，公司将保留追究其法律责任的权利。

阿斯麦在周三的公告中说，他们去年初从一些报道中得知，与另一家公司XTAL有关联的东方晶源，推销可能侵犯阿斯麦知识产权的产品。阿斯麦早前指控XTAL窃取阿斯麦商业机密，美国法庭2019年裁定阿斯麦胜诉并获得赔偿。